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ZrON?低溫溫度計

ZrON?低溫溫度計不僅具有靈敏度高、熱響應(yīng)快、工作溫區(qū)范圍大、熱循環(huán)重復(fù)特性好和機械強度高等特性，還具有低磁阻、耐輻照和年漂移量小等優(yōu)點，可廣泛應(yīng)用于低溫/超低溫系統(tǒng)、超導(dǎo)磁體系統(tǒng)、加速器、對撞機、同步輻射源、先進光源、中子源、高能物理、天文望遠鏡、宇宙微波背景輻射探測和量子計算等領(lǐng)域。

ZrON?低溫溫度計的溫度傳感單元是磁控反應(yīng)濺射生長的ZrON薄膜，通過調(diào)節(jié)磁控反應(yīng)濺射中氮氧化物比例和生長溫度來調(diào)節(jié)ZrON薄膜的溫度響應(yīng)范圍，結(jié)合先進的光刻技術(shù)和封裝工藝，能夠?qū)崿F(xiàn)從100mK-425K溫度范圍的全覆蓋。

ZrON?低溫溫度計有SD、Bobbin和Can三種標準封裝，根據(jù)阻值范圍和工作溫區(qū)的不同分為ZrON-10，ZrON-50，ZrON-70和ZrON-80四款，典型溫度準確性：±5mK@1K；±5mK @4.2K，±15mK@77K，±50mK@300K。

ZrON^? 低溫溫度計典型特性
ü 低磁阻	ü 高靈敏度
ü 工作溫度范圍大	ü 耐高能輻照
ü 機械強度高	ü 熱循環(huán)重復(fù)特性好
ü 熱響應(yīng)快	ü 年漂移量小

	推薦工作溫度范圍	校準溫度范圍
ZrON-10	1K-325K（選配：100mK下限）	950mK-325K（選配：280mK和100mK下限）
ZrON-50	1.5K-325K（選配：425K上限）	1.2K-325K（選配：425K上限）
ZrON-70	2K-325K（選配：425K上限）	1.8K-325K（選配：425K上限）
ZrON-80	2.5K-325K（選配：425K上限）	2K-325K（選配：425K上限）

ZrON-10低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線.png

ZrON-10低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線.png

ZrON-10低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON-10低溫溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差.png

ZrON-10低溫溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON?-10低溫溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T	10T	11T	12T	13T	14T
1.45K	0.34	1.19	2.49	3.46	4.16	4.79	5.44	6.06	6.69	7.29	7.94	8.57	9.26	9.94
2.5K	0.28	1.05	1.66	1.86	1.94	2.13	2.32	2.52	2.71	3.09	3.47	3.92	4.40	4.95
4.2K	0.05	0.08	0.11	0.13	0.16	0.18	0.24	0.30	0.36	0.47	0.59	0.68	0.77	0.90

ZrON-10，CX-1010， CX-1050三種溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)對比

ZrON-50，70和80三種溫度計與磁場相關(guān)的典型溫度誤差(ΔT/T%)

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型阻值溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型靈敏度溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計典型無量綱靈敏度溫度曲線

ZrON-50，70和80三種低溫溫度計在1.5K時與磁場相關(guān)的典型溫度誤差表(ΔT/T%)
	1T	2T	3T	4T	5T	6T	7T	8T	9T
ZrON-50	0.504	1.402	1.934	2.253	2.4862	2.752	3.052	3.398	3.797
ZrON-70	0.272	0.788	1.054	1.154	1.234	1.353	1.546	1.812	2.138
ZrON-80	0.024	0.081	-0.108	-0.407	-0.400	-0.860	-0.953	-0.933	-0.860